Placas de grafite com fenda para orientação de fluxo | Placas de grafite com fenda de alta pureza projetadas especificamente para equipamentos de vácuo semicondutores CVD - carbono NHD

▍ Descrição do produto

Placas de grafite com fenda são substratos de grafite personalizados desenvolvidos independentemente pela NHD Carbon Industries para equipamentos de vácuo de deposição química de vapor (CVD) semicondutores. Ao contrário das placas planas de grafite comuns, a superfície dessas placas passa por fresagem CNC de precisão de cinco eixos para criar canais de fluxo paralelos uniformes, ranhuras estreitamente espaçadas e caminhos de fluxo trapezoidais. Este projeto garante dispersão uniforme dos gases de reação dentro da câmara e transferência de calor estável, abordando pontos problemáticos da indústria, como distribuição desigual do fluxo de gás e desvios significativos na espessura do revestimento do wafer, além de rápida oxidação e desgaste local em alta temperatura. Esta placa de grafite ranhurada é feita de matéria-prima de grafite de alta pureza derivada do coque agulha Daqing. Ele passa por várias rodadas de impregnação a vácuo e purificação por grafitização em alta temperatura a 2.800°C, resultando em um teor de cinzas tão baixo quanto 0,03% e não contém impurezas metálicas que possam contaminar os wafers de silício. É compatível com equipamentos CVD de laboratório de pequena escala e linhas de revestimento de semicondutores de produção em massa. Todas as especificações de ranhuras, espessuras de placas e profundidades de canais de fluxo podem ser fabricadas sob medida de acordo com os desenhos CAD do equipamento do cliente.

Placa fina com ranhura em V

Folha de ranhura plana

Par de ranhura em V profundo

▍ Principais recursos do produto

1. Estrutura de canal personalizada: Suporta usinagem de vários padrões de canal de fluxo, incluindo canais de fluxo retangulares largos, canais de fluxo serrilhados finos, ranhuras trapezoidais e ranhuras segmentadas de profundidades variadas. O espaçamento, a profundidade e a largura das ranhuras podem ser 100% ajustados para atender aos requisitos do processo do equipamento; fresadas como uma única peça, as paredes da ranhura são lisas e sem rebarbas, evitando que o pó de grafite contamine a câmara de vácuo.

2. Substrato de alta pureza e baixa impureza: Grafite isostática de ultra-alta pureza é selecionada. O processo de purificação da matéria-prima remove impurezas metálicas, como ferro, silício e cálcio, garantindo que nenhum material particulado seja liberado sob condições de alta temperatura e eliminando furos e defeitos de descoloração em wafers e revestimentos ópticos.

3. Chapas Monolíticas de Alta Densidade: A densidade geral das chapas atinge 1,80–1,85 g/cm³, com porosidade interna extremamente baixa, evitando efetivamente que gases corrosivos do processo penetrem no substrato e prolongando significativamente a vida útil das chapas.

4. Tolerâncias de usinagem CNC de precisão: Com nossa oficina interna de acabamento CNC, as tolerâncias para dimensões do painel e tamanhos de ranhura são controladas em ± 0,02 mm. Os painéis apresentam alta planicidade, garantindo perfeito encaixe com a base dentro do forno CVD e proporcionando condução de calor uniforme sem diferenças localizadas de temperatura.

5. Tratamento opcional de endurecimento anti-oxidação: Para condições de produção contínua e de longo prazo em alta temperatura, um revestimento especializado de impregnação anti-oxidação pode ser aplicado, o que melhora a resistência à oxidação em 40% em um ambiente de vácuo de 2.000°C, reduzindo assim o tempo de inatividade e os custos associados a substituições frequentes de painéis.

Vista superior do sulco denso

Placa de ranhura angular

Close da borda da ranhura em V

▍ Principais vantagens do produto

1. A distribuição uniforme do fluxo de gás melhora o rendimento do revestimento. Os canais de fluxo paralelo na superfície da placa dispersam o gás de reação em camadas, garantindo uma velocidade de fluxo de gás consistente através da superfície do wafer. Isto mantém os desvios de espessura de deposição do filme dentro de ±2%, resultando em uma melhoria de rendimento de mais de 15% em comparação com placas planas de grafite sem canais, reduzindo significativamente os custos de produção dos clientes.

2. A resistência a altas temperaturas e a resistência ao choque térmico garantem um desempenho estável sob condições de vácuo. Ele suporta temperaturas de até 3.000°C em um ambiente de vácuo e não racha, deforma ou deforma durante ciclos repetidos de temperatura, tornando-o adequado para modos de produção intermitente e contínuo de 24 horas em equipamentos CVD.

3. Alta resistência à corrosão ácida e alcalina; compatível com diversos gases de processo. Resistente à corrosão por hidrogênio, argônio, silano e vários halogenetos; não sofrerá erosão ou pó em ambientes gasosos corrosivos. Adequado para uma ampla gama de processos de revestimento, incluindo carboneto de silício, nitreto de gálio e filmes de óxido.

4. Fabricação personalizada completa para atender a todos os modelos de equipamentos. Não há restrições quanto ao comprimento, largura, espessura ou padrões de ranhura da folha. Seja para pequenos protótipos de laboratório, fornos em escala piloto ou equipamentos de deposição de CVD em grande escala para produção em massa, podemos fornecer placas de grafite usinadas individualmente com slots dedicados, eliminando a necessidade de os clientes se contentarem com peças padrão genéricas.

5. O conjunto completo de relatórios de inspeção de qualidade originais do fabricante garante conformidade de exportação sem preocupações. Cada lote de placas de grafite com fenda vem com relatórios de testes físicos e químicos de terceiros, incluindo dados sobre densidade, teor de cinzas, resistência à flexão e coeficientes de condutividade elétrica e térmica, atendendo aos padrões de inspeção de qualidade e auditoria das cadeias de fornecimento de fabricantes de semicondutores no exterior.

6. Capacidade de produção estável; Aceitamos pedidos de todos os tamanhos. Os pedidos de amostra começam com apenas uma peça, enquanto nossa capacidade de produção mensal para pedidos em grandes quantidades é de 50.000 unidades. Placas de grafite ranhuradas com especificações padrão são entregues dentro de 7 a 10 dias, e placas ranhuradas complexas e de formato personalizado são processadas dentro de 12 a 15 dias úteis.

Placa longa com ranhura estreita

Painel de ranhura ultrafina

Placa grossa com ranhura larga

▍ Especificações do produto

A seguir estão especificações técnicas típicas; a personalização também está disponível com base nos requisitos do cliente.

Especificações personalizadas para folhas e ranhuras

1. Dimensões da Chapa: As dimensões máximas usináveis ​​são 1200 × 800 mm (comprimento × largura), com espessura de 3–50 mm;

2. Tipos de ranhura: Ranhuras retangulares largas, ranhuras com dentes finos, ranhuras trapezoidais para orientação de fluxo e ranhuras compostas segmentadas de profundidades variadas;

3. Parâmetros da ranhura: Largura da ranhura 0,5–20 mm, profundidade da ranhura 1–15 mm, espaçamento da ranhura personalizado conforme necessário;

4. Formatos de painel: Painéis retangulares padrão, painéis de cantos arredondados e painéis de grafite com recortes e ranhuras de formato personalizado podem ser processados.

▍ Cenários de aplicação de produtos e suas vantagens

• Sistema CVD (deposição química de vapor)

Usado para crescimento de película fina, deposição de camada de passivação e revestimento de óxido de silício/nitreto de silício

Vantagens: Canais de fluxo uniforme equilibram o fluxo de gás, melhorando o rendimento dos cavacos. Substratos de pureza ultra-alta                           evitam   a contaminação de cavacos.

• Equipamento CVD para revestimento a vácuo de lentes ópticas

Adequado para revestimento de película fina de vidro óptico, lentes e lentes infravermelhas

Vantagens: Um design de ranhura fina e rasa reduz o risco de arranhões nas lentes; o grafite de alta pureza evita a lixiviação de impurezas que podem causar embaçamento das lentes; a estabilidade térmica em alta temperatura garante aberração cromática consistente em todo o revestimento.

• Forno CVD a vácuo de laboratório de pequena escala para pesquisa

Projetado especificamente para P&D de novos materiais e experimentação de filmes finos em universidades e instituições de pesquisa

Vantagens: Suporta personalização para tamanhos pequenos e ranhuras especiais de formato irregular; permite prototipagem rápida de amostras únicas; permite o ajuste dos níveis de pureza da grafite para atender aos requisitos de P&D.

Forno tubular CVD

CVD de revestimento óptico

Reator CVD de laboratório

▍ Embalagem e Logística

1. Proteção Interna: Totalmente envolto em plástico bolha individual, com acolchoamento de espuma macia nas áreas das fendas para evitar choques, arranhões e danos às paredes e cantos da fenda durante o transporte;

2. Embalagem externa: Caixa de compensado espessado com divisórias internas fixas e revestimento laminado resistente à umidade e água, adequado para exportação via frete marítimo e aéreo;

3. Suporte Logístico: Suporta frete marítimo de contêineres completos, frete aéreo de pequenos pacotes e expresso internacional (DHL/FedEx/UPS). As caixas de madeira vêm com marcas de remessa, listas de embalagem e relatórios de teste de materiais para simplificar o desembaraço aduaneiro;

4. Vantagens de proteção: A grafite é um material quebradiço; embalagens com amortecimento personalizadas evitam danos durante o transporte de longa distância, reduzindo perdas com entregas no exterior e custos pós-venda.

▍ Perguntas frequentes

• Q1: Em comparação com placas planas de grafite padrão, quais são as principais vantagens das placas de grafite ranhuradas em equipamentos CVD?

  A1: Placas planas de grafite padrão podem causar acúmulo localizado de gás dentro do forno, resultando em espessura de revestimento irregular em wafers de silício. Em contraste, as placas de grafite com fendas utilizam canais de superfície para distribuir uniformemente os gases do processo, garantindo um revestimento uniforme em todo o substrato. Além disso, a estrutura com fenda aumenta a área de dissipação de calor, reduzindo a taxa de oxidação localizada em alta temperatura e prolongando efetivamente a vida útil.

  
  

• Q2: Você pode personalizar os padrões de ranhura com base nos desenhos CAD fornecidos pelos clientes?

  A2: Absolutamente. Os clientes podem fornecer desenhos de equipamentos, amostras ou parâmetros de dimensão de canal – qualquer um deles será suficiente. Nossos engenheiros técnicos prepararão um desenho de confirmação de usinagem e a produção começará somente após a verificação. Podemos personalizar ranhuras compostas complexas e placas de formato irregular.

  
  

• Q3: Esta placa de grafite ranhurada pode passar por tratamento antioxidação? O desgaste é significativo durante a produção em massa a longo prazo?

  A3: Podemos fornecer um tratamento especializado de revestimento de impregnação anti-oxidação a vácuo de alta temperatura. Após o tratamento, a vida útil da placa de grafite com fenda é estendida em 40% sob operação contínua a 2.000°C. Comparado ao grafite industrial comum no mercado, nosso substrato de alta pureza tem menor porosidade, dificultando a penetração de gases no interior, e o ciclo de substituição é duplicado em condições normais de produção em massa.

  
  

• Q4: Qual é o desempenho da placa de grafite com fenda em termos de resistência à corrosão? Com quais gases de processo ele é compatível?

  A4: O próprio material base oferece excelente resistência a ácidos, álcalis e halogenetos. É compatível com silano, hidrogênio, argônio, nitrogênio e várias fontes de fase vapor metal-orgânica, atendendo aos requisitos da grande maioria dos ambientes de gás de processo CVD em aplicações de semicondutores e revestimento óptico.

  
  

• Q5: As placas de grafite com fenda são propensas a quebrar durante o transporte e como os itens danificados são manuseados?

  A5: Todas as placas de grafite ranhuradas são protegidas com embalagens multicamadas compostas por plástico bolha individual, caixas de papelão e engradados de compensado, com cantos e bordas reforçados. Se ocorrer dano durante o transporte, basta fornecer fotos do dano para receber uma substituição gratuita. Os pedidos no exterior são apoiados por um serviço pós-venda abrangente.